[19a-A36-1~7] 8.3 プラズマナノテクノロジー

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[19a-A36-2] アモルファスカーボン膜へのカーボンナノ粒子挿入による応力低減に対するカーボンナノ粒子堆積特性の寄与

〇(D)小野 晋次郎¹、恵利 眞人¹、奥村 賢直¹、山下 尚人¹、鎌滝 晋礼¹、木山 治樹¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情)

キーワード：

カーボンナノ粒子、応力低減、プラズマCVD

水素化アモルファスカーボン（a-C:H）膜の膜応力低減には、カーボンナノ粒子（CNP）を用いたサンドイッチ構造が有効である。本研究では、Ar+CH₄プラズマCVD法を用い、CNPの被覆率（C_p）を増加させると、膜応力は1.59 GPaから1.02 GPaに低減した。またCNPが2層目のa-C:H膜成長に影響し、応力低減の効果は膜厚とCNPのサイズ、C_pの式で表されることを明らかにした。