[19a-B3-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[19a-B3-8] 光電子制御プラズマで成膜したダイヤモンドライクカーボン膜の応力

〇(B)出村 翼¹、福田 旺土¹、小野 晋次郎²、恵利 眞人²、古閑 一憲²、鷹林 将¹ (1.有明高専、2.九大)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン (DLC)、光電子制御プラズマ、応力

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は、sp²炭素、sp³炭素、および水素で構成されるアモルファス材料である。DLCはコーティング膜として幅広く応用されている。コーティング用途における開発課題の一つに、DLC膜が基材にもたらす応力がある。応力は、膜の基材との密着性や剥離などに対して影響をもたらすため、その制御が望まれている。我々はこれまで、独自の光電子制御プラズマCVD (PA-PECVD)法を用いてDLC膜を成膜してきた。今回我々は、PA-PECVDの放電形態を光電子制御タウンゼント放電(PATD)から同グロー(PAGD)へと段階的に変化させていくことで、放電形態の膜応力への影響を調べた。