[19a-B5-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

10:30 〜 10:45奨励賞エントリー

[19a-B5-5] ナノチャネルスパッタエピタキシーによる歪み緩和GeSn薄膜成長

〇石丸 賢昇¹、田中 信敬¹、國吉 望月²、小林 拓真¹、志村 考功^1,3、渡部 平司¹ (1.阪大院工、2.アルバック協働研、3.早大IPS)

キーワード：

GeSn単結晶薄膜、スパッタエピタキシー、フォトルミネッセンス