講演情報

[19a-B5-9]高濃度n型ドーピングに向けたP/Ga共添加Ge結晶の成長

〇(M1C)石津 岳1、古藤 良翔1、母良田 友1、石川 靖彦1、山根 啓輔1 (1.豊橋技科大)

キーワード:

シリコンフォトニクス、n型ドーピング


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