[19a-C42-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:15 〜 9:30

[19a-C42-2] 反射X線トポグラフ像の転位スポットサイズによるGaN基板中の貫通転位種の同定

〇兼近 将一¹、山口 聡²、岸田 佳大²、伊勢川 和久²、北住 幸介²、木本 康司² (1.名古屋大学、2.豊田中研)

キーワード：

窒化ガリウム、貫通転位、X線トポグラフ

非破壊で転位種を分類するため、放射光による単色X線および高解像度デジタルX線カメラを活用して反射X線トポグラフを実施した。今回、トポグラフ像において転位に相当するスポットのサイズのみに着目して転位種の同定を試みた。その結果、小サイズは刃状転位、中サイズは混合転位、大サイズはらせん転位またはバーガースベクトルの大きい混合ベクトルであることがわかった。