2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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10:00 〜 10:15

[19a-C42-5]4H-SiC(000-1)上HVPE-AlN成長における成長前水素アニールがピット形成に与える影響

〇佐藤 嵐士1、村上 尚1 (1.東京農工大院BASE)

キーワード：

窒化アルミニウム、ハイドライド気相成長法、炭化ケイ素

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