[19a-P04-1~13] 3.6 レーザープロセシング

[19a-P04-8] 円偏光フェムト秒レーザーパルスによる正方格子表面周期構造の形成

〇松尾 繁樹¹、福原 敬介¹ (1.芝浦工大工)

キーワード：

レーザー誘起表面周期構造、正方格子、円偏光

われわれは，円偏光フェムト秒レーザーパルスを照射することにより，SUS304基板表面に，狭い領域ではあるが正方格子状の周期構造が形成されることを発見した。その周期は，用いたレーザーの波長（1.03 μm）に比べてわずかに短い約0.95 μmだった。この特異な構造の形成には，レーザー照射前の基板の表面に存在する一方向性の傷が関係すると考え，検討を進めている。