[19p-A31-1~18] 17.3 層状物質

14:15 〜 14:30

[19p-A31-4] スパッタPt電極の適用によるWSe₂ p-FETの向上

〇(DC)中島 隆一¹、西村 知紀¹、金橋 魁利¹、上野 啓司²、宮田 耕充³、畑山 祥吾⁴、齊藤 雄太^4,6、入沢 寿史⁴、谷口 尚⁵、渡邊 賢司⁵、長汐 晃輔¹ (1.東京大、2.埼玉大、3.都立大、4.産総研、5.NIMS、6.東北大)

キーワード：

遷移金属ダイカルコゲナイド、スパッタリング、オゾン酸化