2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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15:45 〜 16:00

[19p-B1-11]硫酸加水を用いたGe基板の低温酸化の検討

〇原田 星輝1、清水 玄1、岩崎 好孝1、上野 智雄1 (1.農工大院工)

キーワード：

MOSFET

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