2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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16:00 〜 16:15

[19p-B1-12]CVD法を用いたGeO2/Ge構造の作製及び及び評価

〇鈴木 拓光1、石塚 啓太1、岩崎 好孝1、上野 智雄1 (1.農工大院工)

キーワード：

CVD

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