2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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16:45 〜 17:00

[19p-B1-15]Cu-PMA法のアニール時間変化によるGeO₂/Ge界面特性の変化

〇菅野 航太1、岩崎 好孝1、上野 智雄1、並木 美太郎1 (1.農工大院工)

キーワード：

ゲルマニウム、銅PMA

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