講演情報
[19p-B1-3]Si ウェーハ表面酸化モデル (i) α-Quartz -β-Cristobalite「混晶」モデル
〇神山 栄治1,2、末岡 浩治2 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大)
キーワード：
シリコン、酸化、クリストバライド
Si 結晶と既知のSiO2 結晶の原子構造を比較・参照したうえで，Si 結晶の酸化に際し，格子間Si の放出を伴わずにSi 結晶の構造を引き継いだβ-Cristobalite (C)と，格子間Si 放出により生成するα-Quartz (Q)の「混晶」モデルを提唱する．
コメント
コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン