講演情報

[19p-B3-12]高濃度P+イオン注入によるn型ダイヤモンド半導体形成に向けた研究

〇関 裕平1、今村 海哉1、星野 靖1 (1.神奈川大理)

キーワード:

イオン注入、Hall効果、ダイヤモンド半導体


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