[19p-B3-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

13:15 〜 13:30奨励賞エントリー

[19p-B3-2] 水素フリー硬質DLC膜の高速成膜フィルタードアーク蒸着装置における放電維持

〇佐野 絃貴¹、渡辺 聖也¹、大根田 みらの¹、滝川 浩史¹、杉田 博昭²、服部 貴大²、儀間 弘樹² (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、真空アーク蒸着、放電維持

我々は自己磁界を発生するコイル状陽極を用いてプラズマの輸送を効率化した高速FAD（High rate-FAD: HR-FAD）を開発している。しかし黒鉛陰極を用いた場合，自己消弧が頻発し，総プロセス時間が増加した。この原因が陽極とプラズマビーム間距離の増加による，アーク電圧の増加だと我々は考えた。本研究では陽極開口を変更し，成膜試験を実施した。陽極開口を変更することによりアーク電圧および自己消弧回数が減少したことを確認した。