[19p-B3-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

13:30 〜 13:45

[19p-B3-3] 大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたDLC 成膜における希ガスの効果

〇松本 詩郎¹、小田 昭紀²、針谷 達³、上坂 裕之³、太田 貴之¹ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：

DLC、HiPIMS、希ガス