2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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13:30 〜 13:45

[19p-B3-3]大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたDLC 成膜における希ガスの効果

〇松本 詩郎1、小田 昭紀2、針谷 達3、上坂 裕之3、太田 貴之1 (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)
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キーワード：

DLC、HiPIMS、希ガス

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