2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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13:45 〜 14:00奨励賞エントリー

[19p-B3-4]炭素性産業廃棄物粉末のスパッタリングによる水素フリーDLC合成

〇山口 智大1、上坂 裕之1、針谷 達1、諏訪 裕吾2 (1.岐阜大学、2.エムエス製作所)

キーワード：

DLC、スパッタリング

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