2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[19p-B3-6]放電電極近傍への局所ガス投入による円筒部品外面への超高速DLC成膜

〇永井 健登1、針谷 達1、伊藤 暁彦1,2、上坂 裕之1 (1.岐阜大、2.アールシーロゴ)
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キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、DLC

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