[19p-B3-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[19p-B3-6] 放電電極近傍への局所ガス投入による円筒部品外面への超高速DLC成膜

〇永井 健登¹、針谷 達¹、伊藤 暁彦^1,2、上坂 裕之¹ (1.岐阜大、2.アールシーロゴ)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、DLC