[19p-B3-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

14:45 〜 15:00

[19p-B3-7] リモートプラズマCVD法による単結晶ダイヤモンド成長

〇嶋岡 毅紘¹、新田 魁洲¹、山田 英明¹、坪内 信輝¹、茶谷原 昭義¹、杢野 由明¹ (1.産総研)

キーワード：

化学気相成長、結晶成長、ダイヤモンド

リモートプラズマCVDによる単結晶ダイヤモンドの厚膜成長について報告する。マイクロ波のカットオフ波長以下の開口部を設けた金属ホルダを用いて、開口部－基板表面距離Dを変え、複数の試料を成長した。D増加に伴い、成長速度は減少した。D = 10 mmにおいてもダイヤモンドは成長し、1332cm^-1のラマンピークが確認された。当日は、膜中への窒素の取り込みや、結晶品質などに関して報告を予定している。