2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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14:45 〜 15:00奨励賞エントリー

[19p-C41-8]SiC(0001)表面モフォロジーに対する酸化及び水素エッチングの影響

〇神畠 真治1、小林 拓真1、渡部 平司1 (1.阪大院工)

キーワード：

炭化ケイ素、表面モフォロジー

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