[19p-P02-1~13] 8.1 プラズマ生成・診断

[19p-P02-11] 深振動マグネトロンスパッタリング(DOMS) プラズマにおける発光分光分析(OES)を用いたAr原子の励起発光過程に関する解析

〇横山 英佐¹、中川 悠幹¹、小林 宏輝¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、戸名 正英²、山本 宏晃²、塚本 恵三²、冨宅 喜代一³、大下 慶次郎⁴、美齊津 文典⁴ (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

キーワード：

深振動マグネトロンスパッタリング、発光分光分析

深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）は、成膜速度を補償し優れたアークフリー特性を備えた成膜法として期待される。本研究では、DOMSにおけるプラズマ生成素過程を明らかにすることを目的とし、Ar雰囲気下でTiターゲットにパルス電力を投入して生じたDOMSプラズマに対して発光分光計測を用いて時間的・空間的な励起発光過程の検討を行った。Ar原子線発光においては励起過程の違いを示唆する距離依存性を示した。