[19p-P02-1~13] 8.1 プラズマ生成・診断

[19p-P02-12] 深振動マグネトロンスパッタリングにおいて生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光

〇中川 悠幹¹、小林 宏輝¹、横山 英佐¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、戸名 正英²、山本 宏晃²、塚本 恵三²、冨宅 喜代一³、大下 慶次郎⁴、美齊津 文典⁴ (1.東京工芸大学、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

キーワード：

レーザー誘起蛍光法、マグネトロンスパッタリング

本研究では、成膜領域内における深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）プラズマで生成したスパッタ中性粒子のレーザー誘起蛍光(LIF)およびその時間発展を観測した。LIFの時間発展において、DOMSのOFF時間帯で直線的にLIF強度が減少するのこぎり波形のプロファイルが観測された。講演では、こののこぎり波形のプロファイルの原因について、成膜領域へと到達する非発光スパッタ中性粒子の生成過程との関係性から議論する予定である。