[19p-P02-1~13] 8.1 プラズマ生成・診断

[19p-P02-13] リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分同時検出エネルギー分布計測

〇小林 宏輝¹、中川 悠幹¹、横山 英佐¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、戸名 正英²、山本 宏晃²、塚本 恵三²、冨宅 喜代一³、大下 慶次郎⁴、美齊津 文典⁴ (1.東京工芸大、2.(株)アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

キーワード：

飛行時間型質量分析法、マグネトロンスパッタリング、エネルギー分布関数

現在、DOMS研究の対象は成膜特性に集中しており、DOMSプラズマ過程の詳細に関する検討はこれからである。本研究では、飛行時間型質量分析法（TOF-MS）で測定されるDOMSの生成イオン粒子に対し多成分同時検出エネルギー分布計測を行った。結果として、時間発展におけるエネルギー分布を観測することができた。講演では、時間発展で観測された各ピークのエネルギー分布計測の結果からDOMSプラズマのイオン生成機構について議論する予定である。