[19p-P02-1~13] 8.1 プラズマ生成・診断

[19p-P02-7] 高速ピエゾバルブを用いた液体材料供給のパルス制御と計測

〇紀平 侑樹¹、中家 佑吾¹、森山 匠¹、占部 継一郎² (1.堀場エステック、2.京大院工)

キーワード：

高速ピエゾバルブ、プラズマ発光分析

近年、原子層堆積法(Atomic layer deposition, ALD)をはじめとした先端プロセス技術において、液体材料(プリカーサー)供給の高速化が求められている。我々は、ガスの流量制御と高速パルス制御が可能な高速ピエゾバルブ(Electro Mechanical Valve，EMV)を開発している。このEMVは、圧電材料への電圧印加により、ダイアフラムをmsオーダーの速さで変形させ、ガス流量を制御するバルブである。EMVの制御を検討するとともに、プラズマ状態変化に関する知見を深める。