[19p-P02-1~13] 8.1 プラズマ生成・診断

[19p-P02-9] 誘導結合型水素プラズマ照射下のポリイミド表面近傍の水素原子計測

〇南谷 将平¹、竹田 圭吾¹、平松 美根男¹ (1.名城大理工)

キーワード：

プラズマ、表面反応、水素原子

誘導結合型水素プラズマの照射下において、ポリイミド表面近傍での水素原子密度を計測し、表面反応を定量的に分析した。低温プラズマ技術の高度な制御には、プラズマ内の活性粒子と基材表面の相互作用を理解することが重要である。したがって、この研究はプラズマプロセス技術のさらなる発展に貢献するであろう。