[19p-P03-1~5] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[19p-P03-4] RFスパッタリング法を用いたGeSn薄膜のナノ形態制御とLiイオン電池負極への応用

〇横井 玲音¹、石原 雅之¹、大前 知輝¹、中田 智久¹、丹羽 亮斗¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

リチウムイオン電池、プラズマスパッタリング