2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会

2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(ポスター講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.3 プラズマナノテクノロジー

[19p-P03-1~5]8.3 プラズマナノテクノロジー

2024年9月19日(木) 13:30 〜 15:30

P03 (展示ホールA)

[19p-P03-1]多層カーボンナノチューブのイソシアネート基修飾におけるプラズマ密度の効果

〇(M1)渡邊翔斗¹、中村圭二¹、小川大輔¹ (1.中部大工)

[19p-P03-2]斜入射反応性スパッタリング法により作製した微細構造化Cu₂OおよびCuO薄膜の光学的特性評価

〇坂本大和¹、井上泰志¹、高井治² (1.千葉工大院工、2.関東学院大材料表面研)

[19p-P03-3]CVD法により堆積したSiO:CH微粒子膜の微細構造に対する成膜時間の影響

駒崎陸¹、〇西尾舞雪¹、井上泰志¹、高井治² (1.千葉工大工、2.関東学院大)

[19p-P03-4]RFスパッタリング法を用いたGeSn薄膜のナノ形態制御とLiイオン電池負極への応用

〇横井玲音¹、石原雅之¹、大前知輝¹、中田智久¹、丹羽亮斗¹、内田儀一郎¹ (1.名城大理工)

[19p-P03-5]高圧スパッタリングによるGeSiナノ粒子薄膜の堆積とLiイオン電池負極への応用

〇中田智久¹、石原雅之¹、大前知輝¹、丹羽亮斗¹、横井玲音¹、内田儀一郎¹ (1.名城大理工)

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