2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[19p-P03-5]高圧スパッタリングによるGeSiナノ粒子薄膜の堆積とLiイオン電池負極への応用

〇中田 智久1、石原 雅之1、大前 知輝1、丹羽 亮斗1、横井 玲音1、内田 儀一郎1 (1.名城大理工)
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キーワード：

Liイオン電池、スパッタリング

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