[19p-P05-1~33] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[19p-P05-24] 固相結晶化した多結晶 In₂O₃薄膜における格子定数の膜厚依存性評価

〇大野 知晟¹、髙橋 崇典¹、川戸 勇人¹、星川 輝¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：

酸化物半導体、酸化インジウム、固相結晶化