[19p-P05-1~33] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[19p-P05-28] 溶液法IZO薄膜のUPSピークとオゾン検出感度の関係

〇笹島 宏青¹、森本 貴明¹、石井 啓介¹ (1.防衛大)

キーワード：

IZO、UPS、オゾン

これまで溶液法IGZO-TFTを用いて、オゾン反応に最適な組成比および作製条件を調べ、OH基が寄与することを報告した。IGZO膜内のOH基がオゾン反応に寄与する事が分かったが、その反応機構は不明であった。今回、より単純な組成であるIZO薄膜を分析した結果、OH基の存在が関連しているものと考えられる、フェルミエネルギーよりも高いエネルギーの電子がオゾンとの反応に寄与することが分かった。