[19p-P05-1~33] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[19p-P05-31] 大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた結晶性IGZOの成膜

〇永田 健人¹、太田 和哉²、竹中 弘祐²、節原 裕一²、太田 貴之¹ (1.名城大理工、2.阪大接合研)

キーワード：

大電力パルスマグネトロンスパッタ、結晶性IGZO、酸化物半導体