[19p-P05-1~33] 21 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[19p-P05-8] ミストCVDによるZnOナノ粒子分散Ga₂O₃薄膜の作製と構造評価

〇大久津 武¹、田中 京輔¹、斎藤 日菜¹、田村 葵¹、光野 徹也¹、小南 裕子¹、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大学総研、2.静岡大光医工、3.静岡大電研)

キーワード：

酸化ガリウム、ミストCVD