2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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講演情報

10:45 〜 11:00

[20a-A22-7]Cu, N共添加ZnO薄膜の電気特性の熱処理温度依存性

〇田中 雅樹1、勝俣 裕1 (1.明大理工)
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キーワード：

酸化亜鉛、スパッタリング法、p型

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