講演情報

[20a-A22-7]Cu, N共添加ZnO薄膜の電気特性の熱処理温度依存性

〇田中 雅樹1、勝俣 裕1 (1.明大理工)

キーワード:

酸化亜鉛、スパッタリング法、p型


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