[20a-A22-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:00 〜 11:15

[20a-A22-8] 表面実装パッケージ型ZnO圧力センサの圧力応答性評価

〇遠藤 治之¹、二瓶 貴之¹、目黒 和幸¹、小田 英樹¹、柏葉 安兵衛² (1.岩手県工技センタ、2.岩手大)

キーワード：

酸化亜鉛、圧力センサ、圧電素子

我々は自動車用燃焼圧センサを目指し、ZnO基板を使用した圧力センサ開発を進めてきた。これまで高温での素子インピーダンス低下抑制のため高抵抗Mg_xZn_1-xOを成膜した積層型圧電素子を提案し、その効果を検証した。しかし、高温下での圧力応答時における効果は検証できていない。そこで本研究では圧力センサチップを表面実装型パッケージに組立て、最初の評価として室温での圧力応答性評価を行ったので報告する。