[20a-A24-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:00 〜 9:15

[20a-A24-1] 格子整合AlInN上GaNの逆テーパー型メサ形成の検討

〇大島 孝仁¹、井村 将隆¹、大島 祐一¹ (1.NIMS)

キーワード：

GaN、エッチング