[20a-A24-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:45 〜 10:00

[20a-A24-4] QST基板上へのBGaN成長におけるバッファ層の影響評価

〇林 敦景¹、西川 瞬¹、松本 倖汰²、伊藤 範和²、田中 岳利²、中原 健²、井上 翼¹、青木 徹³、中野 貴之^1,3 (1.静大院工、2.ローム株式会社、3.静大電研)

キーワード：

BGaN、QST基板