[20a-A31-1~11] 17.3 層状物質

10:00 〜 10:15

[20a-A31-5] ポリマースタンプ押付条件によるバブル構造発生に関する検討

〇(M1)小久保 大地¹、清水 歩¹、青栁 上¹、茂木 裕幸¹、嵐田 雄介¹、吉田 昭二¹、武内 修¹、重川 秀実¹ (1.筑波大数理)

キーワード：

転写法、TMD、真空

遷移金属ダイカルコゲナイド（TMD）半導体を繰り返し転写することで多層構造を形成でき、それを用いた物性研究が盛んである。一方、層間に空気や不純物が閉じ込められてバブル構造が生じ、不均一性が問題となる。本研究は、粘弾性ポリマースタンプに形状加工を加えてスタンプ角度を制御し、容易で均一な転写を実現することを目指す。さらに、真空中での転写機構を用いてバブル構造を抑制し、不純物の影響を議論する。