[20a-A31-1~11] 17.3 層状物質

11:15 〜 11:30

[20a-A31-9] ヤヌスTMDの空間選択パターニング手法の開発

〇畢 定坤^1,2、盧 衛子^1,2、青木 颯馬^1,2、孫 田依姍^1,2、小倉 宏斗^1,2、加藤 俊顕^1,2 (1.東北大院工、2.東北大材料科学高等研究所)

キーワード：

ヤヌスTMD、パターニング

ヤヌスTMDの空間選択パターニング手法を開発した。一般的なフォトリソグラフィを用いた場合では、レジストがTMD表面に悪影響を与え、ヤヌス化自体が十分に進行しないことが判明した。これに対し、六方晶窒化ホウ素(h-BN)をマスクとして用いることで、h-BNがヤヌス化反応に対する有効なマスクとして作用することが明らかとなり、ヤヌスＴＭＤの明確な空間選択パターニングが可能であることを明らかとした。