2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[20a-P06-4]オゾン酸化によるAl2O3/Ge MOS界面についての研究

〇高橋 大輝1、青木 伸之1、柯 梦南1 (1.千葉大工)

キーワード：

MOS界面、ゲルマニウム

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