セッション詳細
[20a-P06-1]Al2O3/SnOx/SiO2構造における界面ダイポール変調機構の解明
〇桐原 芳治1、三河 空斗1、三浦 宏太1、吉田 智貴1、伊藤 俊一1、保井 晃2、石川 亮佑1、野平 博司1 (1.都市大、2.高輝度光科学研究センター)
[20a-P06-2]UV-Ozone処理したSiO2上にALD法で作製した界面ダイポール変調構造の動作実証
〇三河 空斗1、桐原 芳治1、三浦 宏太1、吉田 智貴1、保井 晃2、石川 亮佑1、野平 博司1 (1.東京都市大学、2.高輝度光科学研究センター)
[20a-P06-3]ALD法を用いたAl2O3/GeO2膜にUV-Ozone処理が与える影響
〇吉田 智貴1、桐原 芳治1、三河 空斗1、石川 亮佑1、野平 博司1 (1.東京都市大学)