[20p-A22-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:00 〜 16:15注目講演

[20p-A22-12] 可視光領域におけるシングルモード α-Ga₂O₃導波路の作製と光導波の観測

〇(M2)飯嶋 航大¹、大槻 秀夫¹、池 尙玟²、神野 莉衣奈^1,3、深津 晋³、岩本 敏^1,2 (1.東大先端研、2.東大生産研、3.東大院総合文化)

キーワード：

酸化ガリウム、ドライエッチング、可視光導波路

超ワイドバンドギャップ半導体の一つである酸化ガリウム(Ga₂O₃)は、広い波長帯で透明である性質から、近紫外-可視域で機能する光集積回路のプラットフォームとしての可能性が検討され始めた材料である。最安定相のβ-Ga₂O₃では、可視光導波路が報告されたが、シングルモード性に関する議論や、面外結合用のインターフェースの作製は十分に行われていない。
本研究では、β-Ga₂O₃よりも広いバンドギャップと高い屈折率を有するα-Ga₂O₃に注目し、可視光領域のα-Ga₂O₃導波路を作製し、面外結合を通じた光導波の観測に成功したので報告する。