[20p-A22-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

14:15 〜 14:30

[20p-A22-6] β-Ga₂O₃結晶のOVPE成長における熱力学計算を用いた成長速度制御

〇白石 智裕¹、今西 正幸¹、細川 敬介¹、宇佐美 茂佳¹、森 勇介¹ (1.阪大院工)

キーワード：

酸化ガリウム