[20p-A31-1~14] 17.3 層状物質

13:15 〜 13:30

[20p-A31-1] 軟質ポリ塩化ビニルを用いたサスペンド原子層構造作製法

〇小野寺 桃子¹、安宅 学¹、張 奕勁¹、守谷 頼¹、渡邊 賢司²、谷口 尚²、年吉 洋¹、町田 友樹¹ (1.東大生研、2.物材機構)

キーワード：

原子層転写法、ファンデルワールス接合、グラフェン

本発表では、軟質ポリ塩化ビニル（PVC）膜を用いてSiO₂/Si基板上劈開原子層を任意の凹凸基板上に転写する方法を紹介する。軟質PVCを用いると高温でPVCを溶かさずに原子層のみを基板に落とすことができる（ドライリリース）。よって転写後に溶剤に浸漬する必要がなく、原子層が破壊されるのを防ぐことができる。また、サスペンド構造作製に特化したPVC膜の配合を工夫し、高確率で凹凸基板上への転写を可能とした。