2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

14:15 〜 14:30

[20p-A32-4]ターゲット有効利用のための回転型マルチマグネトロンスパッタ装置の開発

〇梅田 姫子1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)

キーワード：

プラズマ

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る