2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

14:30 〜 14:45

[20p-A32-5]円筒・リング型ハイブリッドホロー電極と磁石を用いた高密度水素RFプラズマの生成

〇田爪 健悟1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)
PDFダウンロードPDFダウンロード

キーワード：

RFプラズマ、機能性薄膜、水素プラズマ

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る