2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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14:30 〜 14:45

[20p-A32-5]円筒・リング型ハイブリッドホロー電極と磁石を用いた高密度水素RFプラズマの生成

〇田爪 健悟1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)

キーワード：

RFプラズマ、機能性薄膜、水素プラズマ

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