講演情報
[20p-C42-4]固相成長により作製されたAlNバルク基板上のAlGaN系量子井戸構造の作製
〇井本 圭紀1、三宅 倫太郎1、山田 凌矢1、齋藤 巧夢1、丸山 竣大1、佐々木 祐輔1、狩野 祥吾1、岩山 章1、上山 智1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1、佐藤 洋介2、阿閉 恭平2、野中 健太朗2 (1.名城大・理工、2.日本ガイシ(株))
キーワード：
バルクAlN基板、紫外レーザー
最近,固相成長により作製されたバルクAlN基板の開発および大口径化について報告がされている.しかし,この基板の上に積層された結晶の品質や発光特性は報告されていなかった.本報告では,固相成長により作製されたバルクAlN基板上にコヒーレントにAlGaNの量子井戸を積層し,発光特性を評価したことに加えて,バルクAlN基板をナノピラー加工して,その上に積層したUV-Bのレーザーを試作した結果について報告を行う.
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