[20p-C42-1~6] 15.4 III-V族窒化物結晶

14:45 〜 15:00

[20p-C42-6] 半極性AlN(10-13)成長におけるｍ面サファイア基板の傾斜効果

〇沈 旭強¹、児島 一聡¹ (1.産総研)

キーワード：

窒化アルミニウム

我々はアンモニアフリー高温有機金属気相成長法(AFHT-MOCVD)を開発し、この成長技術を用い従来困難であるｍ面サファイア(10-10)基板上に高品質な半極性(10-13)面AlNエピ膜の成長に成功し、その評価を行った。今回、この高品質な半極性面AlN薄膜成長に使われたｍ面サファイア基板の傾斜効果を調べたので、その結果を報告する。