[20p-C43-1~11] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

13:00 〜 13:15奨励賞エントリー

[20p-C43-1] 酸化グラフェンアシストSi気相エッチングにおけるシート面内構造依存性

〇後藤 雄太¹、宇都宮 徹¹、一井 崇¹ (1.京大院)

キーワード：

酸化グラフェン、エッチング

シリコン表面微細加工技術の1つとして炭素材料を触媒としたアシストエッチングが注目されている．従来の液相エッチングでは，発生したガスによって炭素材料が基板から剥がれてしまうため，大面積を均一に加工することが困難である．近年，気相でのエッチング手法が開発されたが，そのメカニズムは明らかになっていない．本研究では，構造の異なる酸化グラフェンを気相エッチングに用いることで，その律速プロセスを明らかにした．