2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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一般セッション(口頭講演)13 半導体：13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[20p-C43-1~11]13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2024年9月20日(金) 13:00 〜 16:00
C43 (ホテル日航新潟 4F)
森 伸也(阪大)、 蓮沼 隆(筑波大)
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PR
Rohm
13:00 〜 13:15奨励賞エントリー

[20p-C43-1]酸化グラフェンアシストSi気相エッチングにおけるシート面内構造依存性

〇後藤 雄太1、宇都宮 徹1、一井 崇1 (1.京大院)
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13:15 〜 13:30

[20p-C43-2]ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択エッチング
－エッチング液と接触する触媒／半導体界面での正孔注入と拡散制御の試み－

〇山本 聖也1、李 君寰1、稲垣 耕司1、有馬 健太1 (1.阪大院工)
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13:30 〜 13:45英語発表

[20p-C43-3]The influence of Ar/N2 gas flow ratio on the electrical characteristics of ferroelectric hafnium nitride formed by ECR-plasma sputtering

〇KANGBAI LI1, Shun-ichiro Ohmi1 (1.Tokyo Tech.)
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13:45 〜 14:00

[20p-C43-4]電子線照射により生成したSiO2/Si界面欠陥分布の評価

〇清水 崚央1、早田 康成1、蓮沼 隆1 (1.筑波大数理)
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14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[20p-C43-5]機械学習ポテンシャルＭＤを用いたa-Al2O3/GaN界面の欠陥状態解析

〇佐藤 昂輝1、上沼 睦典2、陣内 亮典1、旭 良司1 (1.名大工、2.産総研)
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14:15 〜 14:30

[20p-C43-6]シリコン量子ドットを充填したイオン結晶粉末の作製

〇大島 遼裕1 (1.法政大院理工)
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14:45 〜 15:00

[20p-C43-7]パターニングしたSi(111)基板上に成長したPドープ歪みSiGe/Geの電気伝導特性

〇武井 爽一郎1、菊岡 柊1、奥谷 惇1、石橋 脩悟1、山田 道洋1、浜屋 宏平2,3、澤野 憲太郎1 (1.東京都市大学、2.阪大基礎工CSRN、3.阪大 OTRI)
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15:00 〜 15:15英語発表

[20p-C43-8]Synthetic Image Generation of Microstructure Surfaces Using Physically Based Rendering Techniques

Zhen-Wei Tsai1, 〇(M1)Chao-Ching Ho1 (1.Nat'l Taipei Uni. of Tech.)
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15:15 〜 15:30

[20p-C43-9]機械学習を用いた離散不純物によるMOSFET閾値電圧ばらつきの統計的な解析

〇関 翔太1,2、長田 圭一1、髙石 将輝1、笠原 亮太郎1,2、沓掛 健太朗2,3、宇治原 徹1,2,3 (1.アイクリスタル、2.名大院工、3.名大未来研)
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15:30 〜 15:45

[20p-C43-10]不規則な櫛歯型構造を設けたナノリボンにおける電界印加による電流スイッチング

〇田中 一1、森 伸也1 (1.阪大院工)
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15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[20p-C43-11]半導体ナノシートにおける電子移動度の結晶方位依存性のモンテカルロシミュレーション

〇岡田 丈1、田中 一1、森 伸也1 (1.大阪大学)
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