2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会

2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)13 半導体：13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[20p-C43-1~11]13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2024年9月20日(金) 13:00 〜 16:00

C43 (ホテル日航新潟 4F)

森伸也(阪大)、蓮沼隆(筑波大)

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13:00 〜 13:15奨励賞エントリー

[20p-C43-1]酸化グラフェンアシストSi気相エッチングにおけるシート面内構造依存性

〇後藤雄太¹、宇都宮徹¹、一井崇¹ (1.京大院)

13:15 〜 13:30

[20p-C43-2]ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択エッチング
－エッチング液と接触する触媒／半導体界面での正孔注入と拡散制御の試み－

〇山本聖也¹、李君寰¹、稲垣耕司¹、有馬健太¹ (1.阪大院工)

13:30 〜 13:45英語発表

[20p-C43-3]The influence of Ar/N₂ gas flow ratio on the electrical characteristics of ferroelectric hafnium nitride formed by ECR-plasma sputtering

〇KANGBAI LI¹, Shun-ichiro Ohmi¹ (1.Tokyo Tech.)

13:45 〜 14:00

[20p-C43-4]電子線照射により生成したSiO₂/Si界面欠陥分布の評価

〇清水崚央¹、早田康成¹、蓮沼隆¹ (1.筑波大数理)

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[20p-C43-5]機械学習ポテンシャルＭＤを用いたa-Al₂O₃/GaN界面の欠陥状態解析

〇佐藤昂輝¹、上沼睦典²、陣内亮典¹、旭良司¹ (1.名大工、2.産総研)

14:15 〜 14:30

[20p-C43-6]シリコン量子ドットを充填したイオン結晶粉末の作製

〇大島遼裕¹ (1.法政大院理工)

14:45 〜 15:00

[20p-C43-7]パターニングしたSi(111)基板上に成長したPドープ歪みSiGe/Geの電気伝導特性

〇武井爽一郎¹、菊岡柊¹、奥谷惇¹、石橋脩悟¹、山田道洋¹、浜屋宏平^2,3、澤野憲太郎¹ (1.東京都市大学、2.阪大基礎工CSRN、3.阪大 OTRI)

15:00 〜 15:15英語発表

[20p-C43-8]Synthetic Image Generation of Microstructure Surfaces Using Physically Based Rendering Techniques

Zhen-Wei Tsai¹, 〇(M1)Chao-Ching Ho¹ (1.Nat'l Taipei Uni. of Tech.)

15:15 〜 15:30

[20p-C43-9]機械学習を用いた離散不純物によるMOSFET閾値電圧ばらつきの統計的な解析

〇関翔太^1,2、長田圭一¹、髙石将輝¹、笠原亮太郎^1,2、沓掛健太朗^2,3、宇治原徹^1,2,3 (1.アイクリスタル、2.名大院工、3.名大未来研)

15:30 〜 15:45

[20p-C43-10]不規則な櫛歯型構造を設けたナノリボンにおける電界印加による電流スイッチング

〇田中一¹、森伸也¹ (1.阪大院工)

15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[20p-C43-11]半導体ナノシートにおける電子移動度の結晶方位依存性のモンテカルロシミュレーション

〇岡田丈¹、田中一¹、森伸也¹ (1.大阪大学)

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