[20p-P01-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-P01-3] 原子状水素照射した水素化ダイヤモンドライクカーボン薄膜に対するsp²結合炭素濃度の深さ方向分析

〇春山 雄一¹、部家 彰²、住友 弘二²、伊藤 省吾²、四本 真央³、丸山 隆浩³ (1.兵県大高度研、2.兵県大工、3.名城大理工)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン、光電子分光、深さ方向分析

X線吸収分光と励起エネルギー可変光電子分光を組み合わせて、原子状水素を照射した水素化DLC薄膜のsp²結合炭素濃度の深さ方向分析を行った。C 1s光電子スペクトルの励起エネルギー依存性から、表面から内部になるにつれて、sp²結合炭素の濃度が増加することが示された。発表では、光電子分光やX線吸収分光、ラマン分光スペクトルの測定結果や解析結果を示し、sp²結合炭素濃度の深さ方向分析結果について議論する。