[20p-P01-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-P01-4] Zn溶出型Zn-DLC膜の構造解析

〇神田 一浩¹、中西 康次¹、鈴木 常生²、赤坂 大樹³、大越 康晴⁴、平塚 傑工⁵、平栗 健二⁴ (1.兵県大高度研、2.長岡技大、3.東工大工、4.東京電機大、5.トッケン)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン膜、ラザフォード後方散乱分光法、X線吸収分光法

骨形成促進効果のあるZnを溶出するZn添加DLC膜の構造解析を高エネルギーイオンビームと放射光を用いて行った。RBS測定からZn/C比とZn-DLC膜の膜厚はそれぞれ41%, 220nmと求められた。また、XASの測定からZn-DLC膜中のZnは金属であることを見出した。一方、Cの電子状態はZnの影響を受けており、Zn-DLC膜中でZnは金属微粒子の形で存在することが示唆された。